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气浮转台及其工作方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-054-4870-4907
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第F16C32/06;F16C41/00;B24B41/06;B24B41/02;B24B7/22;H01L21/683;H01L21/673;H01L21/67类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明属于晶圆减薄机技术领域,公开了气浮转台及气浮转台的工作方法。气浮转台包括机架、转台和气浮垫,转台用于承载待加工的工件,转台转动设置于机架上,且转台能够在垂直机架的方向上相对机架移动。气浮垫设置于转台与机架之间,气浮垫上朝向转台的一侧设置有多个气孔,通过气孔向转台吹气能够使转台与气浮垫之间间隔预设距离,停止向转台吹气转台将回落至气浮垫上,通过气孔抽真空能够将转台吸附于气浮垫上。通过设置气浮垫对转台吹气,提高了转台转动过程中的平稳度;并通过抽真空将转台吸附于气浮垫上,防止因减薄件对晶圆施加磨削力而造成转台翘起,从而保证减薄作业的尺寸精度。
附件下载:  (原始资料备查)

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