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偏差检测方法及划片机【异议或纠错】

档案编号: CQ-122-5581-2444
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/67;H01L21/78;B28D7/00;B28D7/04;B28D5/04类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明揭示了偏差检测方法及划片机,其中偏差检测方法在检测时,是将标准试样放置于承片台上,然后通过专门的检测装置来代替主轴以进行检测,这种检测方式在需要反复进行检测时,不需要反复的切割试样,不会造成试样的浪费且不存在切割对应的时间消耗,效率高;进一步,由于不需要切割,也就不需要开水冷却,因此检测是在无大量水汽的环境下进行,不受水汽影响,从而有利于提高检测精度;同时,由于不需要在一次切割后进行观察,因此,不需使承片台反复移动以配合观察,受承片台的移动影响小,精度高。
附件下载:  (原始资料备查)

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