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减薄方法、系统及减薄机【异议或纠错】

档案编号: CQ-150-7215-9129
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B24B7/22;B24B47/20;B24B41/06;B24B7/04;B24B49/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明揭示了减薄方法、系统及减薄机,其中减薄方法包括S1,获取当前存储的主轴的Z向坐标;S2,根据主轴的Z向坐标确定主轴由Z向原点下移至主轴上的磨轮与载片台上的片材的顶面接触时应进给的行程;S3,使主轴移动应进给的行程并进行研磨;S4,在后续每次减薄时,先根据前一次减薄测得的片材厚度及主轴的下移行程确定新的主轴的Z向坐标;再根据新的主轴的Z向坐标确定主轴应进给的行程,最后使主轴移动应进给的行程并进行研磨;S5,在减薄机停止时,存储根据最后一次减薄完成时测得的片材厚度及主轴的下移行程确定的新的主轴的Z向坐标。本发明有效避免了由于磨轮磨损造成存在空行程的问题,大大地提高了减薄效率。
附件下载:  (原始资料备查)

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