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太鼓晶圆处理方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-059-8890-8012
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/02;H01L21/67;B08B3/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明揭示了太鼓晶圆处理方法,其在冲洗和吹气时,先对切割道及其内区域进行处理,再全尺寸处理,这样能够使切割道及其内区域的脏污先移动到边缘位置并在高速离心力作用下与太鼓晶圆分离,同时可以保证切割道及其内区域被重点清洗,在切割道及其内区域处理时,使摆臂的摆动速度低于正常冲洗和吹气时的摆动速度以及使太鼓晶圆的转速高于正常冲洗和吹气时的速度,更低的摆动速度能够有效增加将杂物、积水从空隙中带走的概率,而更高地转速也使离心分离的效果更佳,从而有效地提高了清洗质量。相对于单独水冲,采用水气二流体的冲洗效果更佳;通过上述多种方式的结合,从而有效保证不同状态太鼓晶圆的清洗质量。
附件下载:  (原始资料备查)

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