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专利信息

具有新型抽排组件的浸液供给回收装置以及浸液抽排方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-061-3327-4426
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G03F7/20类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种具有新型抽排组件的浸液供给回收装置以及浸液抽排方法,包括衬底、浸液供给通道、浸液回收通道、液相抽排通道、气相抽排通道、抽排腔、抽排开口和选透抽排管,在浸液供给回收装置与衬底相对的一侧设置有多个抽排开口,浸液供给回收装置内设抽排腔,抽排腔中设多条选透抽排管,抽排开口与抽排腔相连通,每选透抽排管一端与一个抽排开口连通,另一端与液相抽排通道连通,气相抽排通道和抽排腔相连接。提高对气液两相流产生的负压脉动抑制,更利于改善浸液供给回收装置的振动特性,提高回收口对于浸液的抽排能力,提高曝光质量。
附件下载：  (原始资料备查)

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