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专利信息

一种浸液供给装置【异议或纠错】

档案编号： CQ-128-4292-2455
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G03F7/20类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种浸液供给装置。本发明包括环绕末端物镜的环绕面；环绕面上具有主注液口,顺次经过主进液接口、主供液流路和主注液口向浸没流场提供浸液；主供液流路包括顺次连通的引流流路和出流流路,引流流路连通主进液接口连通,出流流路连通主注液口；引流流路位于出流流路的下方。本发明经主注液口向浸没流场提供浸液,经主供液流路向主注液口提供浸液,设置主供液流路包括引流流路和出流流路,使浸液在出流路的宽度方向上具有更均匀的流量分布；配合在主供液流路中设置孔板以增强流量的均匀效果；有利于浸没流场的稳定流动,避免浸没流场中形成紊流和漩涡,保证浸没流场的光学性质稳定,有利于保证曝光质量。
附件下载：  (原始资料备查)

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