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专利信息

一种浸液供给系统【异议或纠错】

档案编号： CQ-128-3684-1760
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G03F7/20类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种浸液供给系统。本发明浸液原液被浸液纯化组件提升纯净度获得浸没液体,浸液流动参数调节组件对浸没液体的压力等流动参数进行调节；浸液供给系统一路浸液沿主注液供给流路向浸液供给回收装置的主注液口供给,另一路浸液沿底部注液供给流路向浸液供给回收装置的底部注液口供给；通过温度计和温度调节器对浸液温度进行调节或通过换热器与主注液供给流路和底部注液供给流路热耦合连接,使主注液供给流路和底部注液供给流路中浸液的温度趋近或相等,维持浸没流场的温度稳定,保证浸没流场的光学性质稳定,保证曝光质量。
附件下载：  (原始资料备查)

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