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专利信息

一种浸没式光刻机密封气体的加湿装置【异议或纠错】

档案编号： CQ-067-6549-5912
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第B01F23/231;G03F7/20类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及一种浸没式光刻机密封气体的加湿装置。本发明包括加湿器箱体、称重水位控制及传感保护模块、水温控制模块、气泡发生及压制模块。所述的称重水位控制及传感保护模块设置在加湿器箱体底部,水温控制模块和气泡发生及压制模块均设置在加湿器箱体内部。本发明采用高温烧结的纯钛粉曝气头分化气泡,增加加湿的接触面积；通过温度传感器、加热器等温控装置,控制加湿器内部的水温,增加加湿的速率,调控输出的气体湿度；通过称重传感器控制加湿器内部的水量；使用洁净的原材料避免二次污染；组成一个自动化得到相对湿度的洁净加湿装置。自动水位控制,不受流量的影响；带有溢流保护装置和水位报警装置,性能更加可靠。
附件下载：  (原始资料备查)

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