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薄膜体声波滤波器制备方法及薄膜体声波滤波器【异议或纠错】

档案编号: CQ-072-1052-2597
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H03H3/02;H03H9/56;H03H9/58类
授权状态: 已授权
档案内容: 本公开提供了一种薄膜体声波滤波器制备方法及薄膜体声波滤波器,可以应用于半导体技术领域。该方法包括:提供一衬底,衬底包括空腔结构,空腔结构中填充有牺牲层材料,空腔结构通过释放结构连接衬底的表面;采用蒸镀法或溅射法,自牺牲层材料的表面向上依次形成下电极层、压电层、上电极层、钝化层和钝化层临时保护层;利用含有氢氟酸的溶液作为牺牲层去除液,通过释放结构对牺牲层材料进行化学腐蚀,以去除牺牲层材料;以及去除钝化层临时保护层,得到薄膜体声波滤波器。
附件下载:  (原始资料备查)

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