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专利信息

一种体声波谐振器、滤波器及制备方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-094-7215-5976
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H03H9/17;H03H9/13;H03H9/02;H03H9/54;H03H3/04类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种体声波谐振器、滤波器及制备方法,涉及声波谐振器技术领域,通过在功能反射层中设置覆盖无效电容区的DBR反射区抑制声波能量从无效电容区向反射功能层泄露,可以有效减少纵向能量的泄露；而通过设置悬臂部可以改变顶电极截止于空腔上方处的边界条件,使得悬臂部和工作区边界的阻抗不匹配,使得位于谐振器工作区边缘的悬臂部可以反射部分声学模式,通过减少谐振器工作区以外的侧向传播声学模式来改善损失,可以提升其Q值；且由于反射的声学模式没有被传输,其能量不会损失,从而使得一部分反射的侧向声学模式被为所需的纵向模式,纵向模式的波能越大,谐振器Q值越高,从而使得体声波谐振器具有较高的品质因子。
附件下载：  (原始资料备查)

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