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一种体声波谐振器及滤波器及制造方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-094-7215-4198
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H03H9/17;H03H9/13;H03H9/02;H03H9/54;H03H3/04类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种体声波谐振器以及滤波器,包括:位于衬底一侧表面的反射功能层;反射功能层设置有空腔以及DBR反射区;位于反射功能层背向衬底一侧表面的底电极;位于底电极背向衬底一侧表面的压电薄膜;位于压电薄膜背向衬底一侧表面的顶电极;沿厚度方向顶电极与底电极重叠的区域中,与空腔重叠的区域为工作区,未与空腔重叠的区域为无效电容区;DBR反射区与无效电容区交叠,顶电极背向衬底一侧表面中位于工作区内设置有闭环框状凸起,闭环框状凸起内侧设置有闭环框状凹陷。通过DBR反射区可以有效减少纵向能量的泄露;而通过设置闭环框状凸起以及闭环框状凹陷,有效增加体声波谐振器整体的品质因子。
附件下载:  (原始资料备查)

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