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减薄测厚方法、系统、减薄设备及减薄方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-100-2087-3037
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/66;H01L21/304;H01L21/67;B24B7/22;B24B49/00;B24B41/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明揭示了减薄测厚方法、系统、减薄设备及减薄方法,其中测厚方法包括如下步骤:控制承片台自转以使其上的绕其轴线均分圆周分布的工件逐一转动经过第一测头,第一测头过一组工件的圆心所在圆;当确定第一测头位于一工件上时,获取第一测头所在的第一测量仪测得的数据作为有效数据;当确定第一测头位于相邻工件之间的间隙,不获取第一测量仪测得的数据或抛弃第一测量仪测得的数据;根据获取的有效数据和第二测头所在的第二测量仪测得的数据计算工件的厚度。本发明在测厚时,有选择的获取或使用第一测量仪测得的数据,能够有效避免第一测杆在相邻工件之间时,测得的数据有误导致出现误判的问题,保证了多片晶圆连续测厚和减薄的实现。
附件下载:  (原始资料备查)

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