浙江启尔机电技术有限公司 访客留言 申请认证

信用网址： 25643945.11315.com   

有限责任公司(自然人投资或控股) 成立历史第12 年

专利信息

用于浸没式光刻具有调节出水总有机碳的超纯水制备装置【异议或纠错】

档案编号： CQ-101-4567-5377
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第C02F9/00;C02F101/30;C02F103/04;C02F1/78;C02F1/00;C02F1/20;C02F1/32类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及用于浸没式光刻具有调节出水总有机碳的超纯水制备装置。本发明包括电子级厂务水水箱、总控纯水泵、流量控制计、总有机碳去除模块、脱气模块、其他杂质处理模块、检测模块隔膜阀、杂质检测模块、排水隔膜阀、用水隔膜阀、回水流量计和第一止回阀。本发明通过在总有机碳去除模块中臭氧发生器产生高纯度臭氧,在不对超纯水进行外加污染的情况下,利用臭氧极强的氧化性将总有机碳去除。采用两级回水,净水效率高。使用寿命长,成本低。本装置制备的超纯水水质的稳定,且装置占地面积小。采用本装置能够有效降低超纯水中各种有机碳含量,并且在不引入新杂质的基础上,到达浸没式光刻用超纯水总有机碳的要求。
附件下载：  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论，请 登录 或 注册

打分

登录

说明：
一、所有信息力求客观、真实：以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会（社团组织）、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者（包括交易对方、员工等）客观提供，不含有本征信平台的任何主观评价；
二、信息异议机制：欢迎大家对有异议的信息及时提出，我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正，确保客观、公平；
三、尊重发布者权益，永不"删贴"：对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息，都将客观记录于企业信用档案，参与信用分值计算，并长期保存。

分享到:

更多>>视频联播

更多>>绿盾征信系统规则

绿盾在线
×
商务合作
企业服务
征信合作

 

=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315