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电迁移监控器件结构、其形成方法及其监控方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-101-4675-8885
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L23/544;H01L21/66;G01R31/26类
授权状态: 已授权
档案内容: 一种电迁移监控器件结构、其形成方法及其监控方法,其中,电迁移监控器件结构包括:衬底;位于所述衬底上的电迁移结构;与电迁移结构两端分别电连接的第一衬垫和第二衬垫,所述第一衬垫通过第一电连接层与电迁移结构电连接,所述第二衬垫通过第二电连接层与电迁移结构电连接;位于所述衬底内的二极管结构,所述二极管结构与所述第二电连接层电连接。所述电迁移监控器件结构、其形成方法及其监控方法提升了电迁移监控的准确性和有效性。
附件下载:  (原始资料备查)

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