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专利信息

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置【异议或纠错】

档案编号： CQ-103-7777-0190
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第B81C1/00;B81B7/02类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明提供一种MEMS器件及其制备方法、电子装置,该方法包括：提供基底,在基底上依次形成有第一牺牲层、振膜、第二牺牲层与第三牺牲层；形成第一通孔与第二通孔,第一通孔露出振膜,第二通孔露出基底；在第三牺牲层上形成背板层,背板层覆盖第一通孔与第二通孔的底部与侧壁；形成电连接背板层的第一焊盘、电连接振膜的第二焊盘与电连接基底的第三焊盘；形成空腔与背腔。本发明方案中的第二焊盘与第三焊盘分别通过第一通孔与第二通孔内的背板层电连接振膜与基底,避免了第二焊盘与第三焊盘在通孔侧壁发生断裂而导致电性能失效等问题,且二者的结构更加平坦,避免了后续光刻胶工艺中出现涂胶不均匀的问题,提高了器件性能与产品良率。
附件下载：  (原始资料备查)

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