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专利信息

MEMS麦克风及其制备方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-133-2987-5211
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H04R19/04;H04R31/00类
授权状态： 已授权
档案内容： 本申请实施例涉及一种MEMS麦克风及其制备方法,包括：提供衬底；形成第一牺牲层；形成振膜；形成第二牺牲层；形成背板；在衬底中形成背腔；形成第一空腔、狭缝和第二空腔；形成第二牺牲层前包括：在振膜的对应于狭缝预设形成区的部分注入电荷；形成背板后包括：形成沿衬底厚度方向上贯穿背板的第一释放孔；和/或,形成第二牺牲层前包括：在振膜的对应于狭缝预设形成区的部分中注入电荷；形成背板包括：形成第二支撑结构以及背板；形成第二支撑结构后包括：在第二支撑结构中注入电荷；和/或,形成振膜包括：形成第一支撑结构以及振膜；形成第一支撑结构后包括：在第一支撑结构中注入电荷；利用刻蚀液与电荷发生电化学反应。由此,加快刻蚀效率。
附件下载：  (原始资料备查)

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