芯联集成电路制造股份有限公司 访客留言 申请认证

信用网址： 121832573.11315.com   

股份有限公司（外商投资、上市） 成立历史第7 年

专利信息

一种MEMS器件的应力测试结构及其制备方法、应力测试方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-111-7399-8721
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第B81C99/00;B81C1/00;B81B7/02;G01L5/00;G01L1/00类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明提供一种MEMS器件的应力测试结构及其制备方法、应力测试方法,该应力测试结构包括：基底,基底包括第一表面和与第一表面相背的第二表面；振膜,位于基底的第一表面上,振膜包括第一区域和包围第一区域的第二区域,第一区域和第二区域彼此分离,第一区域呈形变状态,第二区域搭接于基底；背板层,部分背板层悬置于振膜上方,背板层与振膜之间形成有空腔,空腔至少露出振膜的第一区域,部分背板层贯穿空腔并与振膜的第一区域的部分表面接触相连；背腔,自基底的第二表面贯穿基底并露出振膜的第一区域。基于本发明的应力测试结构和测试方法能够测量得到MEMS器件的振膜在工艺流程结束后的应力。
附件下载：  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论，请 登录 或 注册

打分

登录

说明：
一、所有信息力求客观、真实：以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会（社团组织）、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者（包括交易对方、员工等）客观提供，不含有本征信平台的任何主观评价；
二、信息异议机制：欢迎大家对有异议的信息及时提出，我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正，确保客观、公平；
三、尊重发布者权益，永不"删贴"：对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息，都将客观记录于企业信用档案，参与信用分值计算，并长期保存。

分享到:

更多>>视频联播

更多>>绿盾征信系统规则

绿盾在线
×
商务合作
企业服务
征信合作

 

=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315