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有限责任公司(自然人投资或控股) 成立历史第12 

一种对中与寻边装置、方法及存储介质【异议或纠错】

档案编号: CQ-114-6760-7906
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/68;H01L21/683;H01L21/67;H01L21/687类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种对中与寻边装置、方法及存储介质。该对中与寻边装置包括:控制模块,以及设置于机架上的夹持模块、尺寸确定模块、对中模块和寻边模块,尺寸确定模块、对中模块和寻边模块均与控制模块电连接;夹持模块用于承载晶圆,尺寸确定模块用于采集晶圆的尺寸信号,并发送至控制模块;对中模块用于生成位置对中信号,并发送至控制模块;寻边模块用于检测晶圆的边缘上的豁口位置,生成边缘检测信号并发送至控制模块;控制模块用于根据尺寸信号确定晶圆的尺寸,并且根据对中信号和边缘检测信号,控制对中模块和寻边模块对晶圆进行对中与寻边。本发明实施例的技术方案可有效减少对人工的需求,并且装置结构简单,可有效降低设备造价。
附件下载:  (原始资料备查)

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