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预热环及外延设备【异议或纠错】

档案编号: CQ-120-9103-4533
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C30B25/10;C30B25/08;C30B25/14类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型涉及半导体制造技术领域,提供了一种预热环及外延设备,所述预热环包括:主环体和位于主环体内的内环体;所述主环体的内周壁与所述内环体外周壁适形贴合并连接,所述内环体上具有一缺口,所述缺口沿所述内环体的轴向贯通于所述内环体的两端。本实用新型中通过对预热环结构的改进,利于保证外延腔室中下腔室内通入的气体流动至上腔室内时,定向向出气口流动,降低对反应气体的气流分布的影响,同时也改善对待外延件周围的反应气体稀释的现象,大幅度降低其对待外延件的影响,保证外延层的均匀性。
附件下载:  (原始资料备查)

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