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双重保护供气管路及晶圆加工设备【异议或纠错】

档案编号: CQ-121-0741-3894
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第F17D1/04;H01L21/67;F17D3/01类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型揭示了双重保护供气管路及晶圆加工设备,其中双重保护供气管路,包括气源、与气源的出气口连接的主气道,主气道上设置有检测传感器,主气道通过第一保护气管连接第一储气容器,第一保护气管上设置有控制其通断的自动阀门;主气道还通过第二保护气管连接第二储气容器,第二保护气管与主气道的第一连接点位于所述第一保护气管与主气道的第二连接点的下游。本实用新型在气源突然断气或异常时,第二储气容器中缓存的压缩气体能够自动释放,可以在第一储气容器的压缩气体供应前提供了足够的缓存保护,并且,两个储气容器同时供气能够有效地增加持续供气时间,从而有足够的时间落实对设备的保护措施,实现了双重冗余保护。
附件下载:  (原始资料备查)

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