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划片机基于光栅尺的驱动器全闭环控制的动态补偿方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-122-2048-1568
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G05B19/404类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明揭示了一种划片机基于光栅尺的驱动器全闭环控制的动态补偿方法,包括以下步骤:通过电机自身的旋转编码器信号和光栅尺信号实现划片机的闭环控制定位;长期监控位置差值数据,排除光栅尺与旋转编码器故障后的数据进行与出厂激光干涉仪数据对比分析,得到划片机在使用寿命内的变化;对划片机的精度和刚性动态补偿。本发明以旋转编码器和光栅尺为主要测量器件,测量的数据精度较高,闭环控制,提高了划片机的精度和可靠性;对划片机的精度和刚性动态补偿,可以有效延长划片机的使用寿命,在其接近设计使用时间精度变差时,能有效地达到要求之精度。
附件下载:  (原始资料备查)

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