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一种带有锁紧机构的分度台及减薄机【异议或纠错】

档案编号: CQ-123-1289-4637
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B24B7/22;B24B7/07;B24B41/02;B24B41/06;H01L21/67类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及晶圆减薄技术领域,公开了一种带有锁紧机构的分度台及减薄机。带有锁紧机构的分度台包括机架;分度台本体,其上设置有晶圆,分度台本体设置在机架上且能够相对于机架旋转;锁紧机构,其包括转动组件和限位组件,转动组件的一端固定设置在分度台本体的外边缘,转动组件的另一端向远离分度台本体的方向延伸;限位组件设置在机架上并位于转动组件的转动路径的外侧,限位组件被配置为在分度台本体旋转至预设工位时向靠近转动组件的方向移动至锁紧转动组件,以将分度台本体固定在预设工位。该带有锁紧机构的分度台能够准确地将分度台本体固定在预设工位处,以能够对晶圆上的预加工位置进行精准减薄加工。
附件下载:  (原始资料备查)

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