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专利信息

光刻机的浸液热效应评价装置、标定装置及其评价方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-128-4360-7879
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G03F7/20;G01K17/00类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种光刻机的浸液热效应评价装置、标定装置及其评价方法,包含热效应校准系统和热效应测试系统。其中测试系统包含恒温流体供给系统,真空发生器用于提供系统所需负压和热效应测试用承片台；校准系统采用蒸发功率校准装置对测试系统进行校准,校准装置包含保温罩、加热装置、均热盘和测温装置组成,校准装置提供恒定已知的热通量予测试系统,对比输入热通量与实测热通量的差,实现热通量校准功能。提供的测试方法及配套设备,相比传统测试方法具有实时在线测量、准确度可校、相对成本低廉的优点。利用温差曲线比较法和平均热功率法评价浸液热效应,有利于排查工艺缺陷；有效评价浸液热效应随时间的变化情况。
附件下载：  (原始资料备查)

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