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一种夹具组件、镀膜工装及晶圆片固定方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-268-1033-0909
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C23C14/50;C23C16/458类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请公开了一种夹具组件、镀膜工装及晶圆片固定方法,解决了现有技术中晶圆片镀膜作业前晶圆片夹持固定过程耗时长,且容易损坏晶圆片的技术问题,其中夹具组件用于工件盘上工件的夹持,包括磁吸层、弹性层和固定层,其中磁吸层用于磁吸于工件盘上;弹性层设置于磁吸层上方;固定层与磁吸层分别设于弹性层相背的两个表面,以将弹性层夹紧,固定层设有大于晶圆片尺寸的内环孔,以使弹性层部分暴露于外。通过将磁吸层与工件盘固定,固定层用于固定弹性层,将弹性层固定后,可以形成一个夹具组件,用以固定晶圆片,其中弹性层可以根据晶圆片的形状进行划出,然后弹性层对晶圆片进行夹持,能够将晶圆片进行夹持固定,不容易损坏晶圆片,操作简单。
附件下载:  (原始资料备查)

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