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一种端面处理设备的半自动化集成进样装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-268-1033-1091
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B65G23/04;B65G47/91类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种端面处理设备的半自动化集成进样装置,涉及激光芯片加工设备领域,包括钢体桌、机械手臂、晶舟盒、放置夹具平台、晶舟盒拖和履带控制系统,机械手臂固定安装在钢体桌顶部一侧,本发明使用晶圆片盒,代替了原来只有单个晶圆片的传递,方便批量化作业,提高了效率;利用真空吸嘴吸取晶圆片并用机械手臂传递取代人为镊子传递,提高稳定性;放置夹具长平台及其履带传动装置,取代人为镊子传递,方便批量化作业;晶舟盒拖的自动升降使上样更简单和精准化;利用圆形卡托卡住晶舟盒后,用机械手臂移动取代人为镊子传递,提高稳定性;集成于一体的进样装置,可移动,方便不同设备的进样,适合批量化作业,提高效率。
附件下载:  (原始资料备查)

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