武汉锐晶激光芯片技术有限公司 访客留言 申请认证

信用网址: 173455631.11315.com   

有限责任公司(自然人投资或控股) 成立历史第10 

一种分子束外延设备生长室组件【异议或纠错】

档案编号: CQ-268-1033-1315
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B08B9/087;B08B13/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请提供一种分子束外延设备生长室组件,包括腔体、衬底支架、源炉坩埚、第一挡板、衬板和第一盖体组件;衬底支架连接有待镀膜件;源炉坩埚朝向安装于腔体;源炉坩埚用于向处于衬底支架的待镀膜件镀膜;第一挡板可转动地连接于衬底支架;第一盖体组件设置于腔体的底部;第一盖体组件包括第一盖体和第一清洁件,第一盖体安装于腔体的底部,并盖合腔体的底部;第一清洁件可伸缩地连接于第一盖体,并朝向第一挡板移动,以便于第一清洁件清洁处于第一挡板及衬底支架上的膜渣,并且保证处于第一挡板的膜渣的掉落至腔体底部,避免处于第一挡板的膜渣影响待镀膜件的工作环境,并且脱离第一挡板的膜渣掉落至衬板,衬板承接脱离第一挡板的膜渣。
附件下载:  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论,请 登录注册

打分

说明:
一、所有信息力求客观、真实:以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会(社团组织)、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者(包括交易对方、员工等)客观提供,不含有本征信平台的任何主观评价;
二、信息异议机制:欢迎大家对有异议的信息及时提出,我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正,确保客观、公平;
三、尊重发布者权益,永不"删贴":对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息,都将客观记录于企业信用档案,参与信用分值计算,并长期保存。

分享到:
绿盾在线
×
=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315