专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种优化摆动型马兰格尼干燥流场的干燥槽体结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-23 |
| 一种兆声波晶圆清洗槽 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-23 |
| 一种解决马兰格尼干燥模组震动造成颗粒污染的优... | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-06 |
| 静电消除器探针座 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-02 |
| 一种静电消除器及电极探针的清洁判断方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-30 |
| 一种晶圆侦测模组及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-26 |
| 一种动平衡旋转干燥机 | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-16 |
| 一种PCVD工艺制作低羟基光纤预制棒芯棒的方... | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-09 |
| 一种特殊的IPA晶圆干燥方法的集成模组 | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-05 |
| 一种用于检测晶圆数量的装置和检测方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-04-25 |
| 一种用于PCVD保温炉的自动升温控制系统 | 专利权 | 良好信息 | 2023-04-18 |
| 一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-28 |
| 在线加热装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-28 |
| 一种分布式在线加热系统及在线加热方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-21 |
| 一种可用于多种类单晶圆载体清洗的装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-21 |
| 一种晶圆清洗系统 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-14 |
| 一种晶圆检测运输托架及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-14 |
| 一种集成化晶圆干燥系统中的晶圆摆荡模块 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-10 |
| 一种应用于晶圆干燥装置中的异丙醇和氮气混合罐 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-03 |
| 一种集成化晶圆干燥系统中的管路输送模块 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-03 |
更多>>视频联播
京公网安备：11010202001315
商务合作