专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 纯水加热器 | 专利权 | 良好信息 | 2024-08-02 |
| 氮气加热器 | 专利权 | 良好信息 | 2024-08-02 |
| 石英加热器 | 专利权 | 良好信息 | 2024-08-02 |
| 设备前端模块(EFEM) | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-18 |
| 一种喷气装置、马兰戈尼干燥机及干燥方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-24 |
| 一种静电消除装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-30 |
| 一种集成虹吸式硫酸稀释阀和高温硫酸模组换酸系... | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-30 |
| 一种用于静电消除器的高压脉冲发生装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-16 |
| 一种多相位电动风囊泵 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-05 |
| 一种基于气体流场优化的IPA置换干燥装置及方... | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-02 |
| 一种基于IPA的置换干燥方法及装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-02 |
| 一种晶圆干燥方法及干燥槽体 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-02 |
| 一种晶圆旋转干燥装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-12 |
| 一种晶圆托篮转运模组 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-12 |
| 一种基于自动配重的多晶圆旋转干燥系统及干燥方... | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-05 |
| 一种冷却控温装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-08-29 |
| 一种用于检测并计数的晶圆扫描装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-08-29 |
| 一种晶圆检测运输托架 | 专利权 | 良好信息 | 2023-08-29 |
| 集成化晶圆干燥方法、系统、终端及存储介质 | 专利权 | 良好信息 | 2023-08-15 |
| 一种检测透明硅片的方法、装置及存储介质 | 专利权 | 良好信息 | 2023-07-28 |
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