专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 抛光头及化学机械抛光设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-19 |
| 晶圆磨削后处理系统、装置、方法及晶圆减薄设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-19 |
| 一种晶圆清洗装置以及晶圆清洗方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-15 |
| 晶圆加工系统、装置、方法及晶圆减薄设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-15 |
| 抛光压力控制方法、装置、电子设备、晶圆抛光系... | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-27 |
| 一种晶圆后处理装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-23 |
| 晶圆抛光装置及化学机械抛光设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-06 |
| 一种化学机械抛光装置和抛光方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-06 |
| 一种承载头和化学机械抛光系统 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-16 |
| 一种晶圆清洗装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-09 |
| 一种化学机械抛光系统和抛光方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-02 |
| 一种基板传输装置和基板磨削装备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-22 |
| 用于晶圆载置的真空吸盘系统 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-19 |
| 一种晶圆夹持机构和晶圆后处理设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-24 |
| 一种用于基板磨削的搬运装置和基板磨削装备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-10-27 |
| 一种马兰戈尼干燥方法和晶圆处理装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-10-13 |
| 一种晶圆膜厚测量方法和化学机械抛光设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-10-10 |
| 一种清洗刷组件和晶圆清洗装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-29 |
| 一种晶圆后处理装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-29 |
| 一种用于CMP的光学测量装置和化学机械抛光设... | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-29 |
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