商标/专利/著作权/植物新品种信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 振动传感器的测试系统和测试方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-09-20 |
| MEMS结构及MEMS麦克风 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-14 |
| MEMS结构及MEMS麦克风 | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-12 |
| 一种微机械凸起结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-19 |
| 微机电传感器封装结构及制造方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-08 |
| 晶圆结构及晶圆加工方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-08 |
| 一种微机械堆叠结构和连杆结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-28 |
| 一种微机械锚区释放停止结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-14 |
| 微机电传感器封装结构及其制造方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-22 |
| 一种台阶结构的制造方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-19 |
| 一种MEMS压力传感器 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-20 |
| 台阶结构的制作方法及振动检测装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-20 |
| 振动传感器的测试方法及振动传感器 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-16 |
| 一种微机械结构释放窗口的封口结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-16 |
| 一种微机械泄气结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-02-21 |
| 一种MEMS压力传感器 | 专利权 | 良好信息 | 2023-01-24 |
| 振动传感器及其制造方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-01-24 |
| 一种MEMS压力传感器及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-12-23 |
| 一种MEMS压力传感器及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-12-02 |
| 微机械结构 | 专利权 | 良好信息 | 2022-11-01 |
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