专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 晶圆结构及晶圆加工方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-08 |
| 一种微机械堆叠结构和连杆结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-28 |
| 一种微机械锚区释放停止结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-14 |
| 一种台阶结构的制造方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-19 |
| 一种微机械泄气结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-02-21 |
| 振动传感器及其制造方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-01-24 |
| 一种双振膜硅麦克风 | 专利权 | 良好信息 | 2022-11-01 |
| 一种双振膜硅麦克风及其制造方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-10-18 |
| 一种微机械锚区释放停止结构及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-10-18 |
| 一种微机械泄气结构及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-10-11 |
| 一种微机械堆叠结构和连杆结构及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-09-09 |
| MEMS器件及其制造方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-08-16 |
| 一种振动检测装置及其制造方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-08-16 |
| MEMS结构及MEMS麦克风 | 专利权 | 良好信息 | 2022-08-02 |
| 麦克风芯片及麦克风 | 专利权 | 良好信息 | 2022-06-17 |
| 测试系统 | 专利权 | 良好信息 | 2022-02-11 |
| 微机械结构及制作方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-01-11 |
| MEMS麦克风的修调装置及其修调方法 | 专利权 | 良好信息 | 2021-11-23 |
| 一种硅麦辅助测试装置 | 专利权 | 良好信息 | 2021-11-19 |
| 晶圆测试方法、晶圆测试装置以及晶圆测试系统 | 专利权 | 良好信息 | 2021-09-24 |
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