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专利信息
档案标题 档案分类 档案性质 发证日期
砷化镓多晶合成装置及方法 专利权 良好信息 2024-08-16
砷化镓单晶生长状态检测方法及装置 专利权 良好信息 2024-08-16
一种砷化镓生长装置 专利权 良好信息 2024-08-02
砷化镓单晶生长装置及制备方法 专利权 良好信息 2024-07-26
一种砷化镓生长装置 专利权 良好信息 2024-06-25
一种用于砷化镓半导体生长的智能化温度监测方法 专利权 良好信息 2024-06-21
砷化镓单晶生长状态检测方法及装置 专利权 良好信息 2024-06-18
砷化镓单晶生长装置及制备方法 专利权 良好信息 2024-06-18
一种砷化镓衬底晶片缺陷智能检测方法 专利权 良好信息 2024-06-07
一种用于砷化镓半导体生长的智能化温度监测方法 专利权 良好信息 2024-05-14
一种砷化镓衬底晶片缺陷智能检测方法 专利权 良好信息 2024-05-10
一种磷化铟晶体的生长工艺 专利权 良好信息 2024-04-30
基于双层坩埚的磷化铟单晶生长方法 专利权 良好信息 2024-04-19
一种用于砷化镓晶片的无蜡垫裁剪装置 专利权 良好信息 2024-03-29
基于双层坩埚的磷化铟单晶生长方法 专利权 良好信息 2024-03-15
一种磷化铟晶体的生长工艺 专利权 良好信息 2024-03-15
一种砷化镓晶体生长用的加热机构 专利权 良好信息 2024-02-23
一种射频芯片用砷化镓大尺寸衬底材料制备工艺 专利权 良好信息 2022-09-27
砷化镓加长晶体生长热场及工艺技术 专利权 良好信息 2022-09-20
一种砷化镓衬底的表面处理方法 专利权 良好信息 2022-09-16
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