专利信息
档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
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一种干燥装置及其顶刀 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-01 |
一种导电型碳化硅晶片硅面和碳面的辨别方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-15 |
一种预热装置、外延生长设备和外延方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-07-28 |
大尺寸碳化硅外延气体供应装置及供应方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-04-14 |
一种高压超高压器件用碳化硅外延片的制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-08-30 |
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