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商标/专利/著作权/植物新品种信息
档案标题 档案分类 档案性质 发证日期
一种衬底表面金属杂质的萃取方法 专利权 良好信息 2024-03-26
快速调整碳化硅切割角度的方法 专利权 良好信息 2023-11-03
一种去除清洗用卡塞产生边缘脏污的方法 专利权 良好信息 2023-10-03
低碳包裹物密度的碳化硅单晶的生长方法 专利权 良好信息 2023-09-19
一种应用于碳化硅单晶衬底的加工方法 专利权 良好信息 2023-07-14
单体定向切割碳化硅的方法 专利权 良好信息 2023-05-23
晶体的偏置切割方法 专利权 良好信息 2023-03-21
一种提升时效的碳化硅晶圆清洗检测方法 专利权 良好信息 2022-12-09
一种降低碳化硅粉体中氮杂质含量的方法 专利权 良好信息 2022-11-22
单体定向切割碳化硅的方法 专利权 良好信息 2022-08-30
晶体的偏置切割方法 专利权 良好信息 2022-05-13
一种碳化硅晶圆贯穿型管道缺陷的检测方法及装置 专利权 良好信息 2021-12-07
用于解决碳化硅晶圆化学机械抛光后产生局部高点... 专利权 良好信息 2021-11-23
超高真空碳化硅原料合成炉系统 专利权 良好信息 2021-10-08
碳化硅晶体的切割方法 专利权 良好信息 2021-09-03
一种延续单一生长中心制备碳化硅单晶的方法 专利权 良好信息 2021-03-26
超高真空碳化硅原料合成炉系统 专利权 良好信息 2021-03-19
一种基于可控生长中心制备碳化硅单晶的方法 专利权 良好信息 2021-02-26
一种降低碳化硅单晶中氮杂质含量的方法 专利权 良好信息 2020-07-17
一种用于SiC晶体生长的装炉定位工具 专利权 良好信息 2020-07-07
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