专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种MEMS器件的应力隔离封装结构 | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-19 |
| 一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元... | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-25 |
| 一种同时具备低应力和抗高过载的电子器件及其封... | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-26 |
| 一种MEMS器件的应力隔离封装结构 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-20 |
| 一种MEMS压力传感器芯片的圆片级测试装置及... | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-30 |
| 一种具有应力缓冲结构的MEMS芯片及其制造方... | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-26 |
| 三轴微型传感器高低温测试装置及其测试方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-26 |
| 一种MEMS垂直电极结构的制造方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-05 |
| 抗高过载电子器件封装管壳 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-05 |
| 一种MEMS压力传感器的封装结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-08-22 |
| 一种采用多振子耦合的微机械谐振器 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-06 |
| 一种采用多振子耦合的微机械谐振器 | 专利权 | 良好信息 | 2023-04-14 |
| 自对准多晶硅单晶硅混合MEMS垂直梳齿电极 | 专利权 | 良好信息 | 2023-04-11 |
| 具有驱动频率调节结构的MEMS陀螺仪 | 专利权 | 良好信息 | 2023-04-07 |
| 自对准多晶硅单晶硅混合MEMS垂直电极及其制... | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-14 |
| 一种MEMS传感器芯片与ASIC芯片的扇出型... | 专利权 | 良好信息 | 2022-12-06 |
| 一种MEMS传感器芯片与ASIC芯片的扇出型... | 专利权 | 良好信息 | 2022-10-18 |
| 一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺 | 专利权 | 良好信息 | 2022-09-02 |
| 一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺 | 专利权 | 良好信息 | 2022-02-18 |
| 一种MEMS压力传感器芯片的圆片级测试装置及... | 专利权 | 良好信息 | 2021-12-31 |
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