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有限责任公司(外商投资企业与内资合资) 成立历史第12 

一种植有异尺寸锡球的芯片结构及其加工工艺【异议或纠错】

档案编号: CQ-060-4788-2345
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/60类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请涉及一种植有异尺寸锡球的芯片结构及其加工工艺,其芯片结构包括:芯片,设置有焊盘;UBM层,于所述焊盘上堆叠且相连设置有至少一个;锡球,一一对应于每一焊盘,且植入于远离焊盘的UBM层上;其中,堆叠数量越多的所述UBM层所对应植入的锡球的球径越小,以使每一锡球的球高相等。其工艺包括:在芯片上形成PI保护层;对每一焊盘所在的区域成型UBM层;在芯片上形成光阻层;对小球径的锡球对应的焊盘所在的区域成型UBM层;去除光阻层;对顶部的UBM层植入相应球径的锡球。本申请使得芯片上大小不一的锡球的球高均可以相等,提高植有大小不一的锡球的芯片与基板的连接质量。
附件下载:  (原始资料备查)

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