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晶圆加热控制方法、系统及存储介质【异议或纠错】

档案编号: CQ-260-7545-2845
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G03F7/16类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请公开了一种晶圆加热控制方法、系统及存储介质,其方法包括:根据加热任务确定目标对象以及目标对象的基础信息;根据基础信息中的尺寸信息判断是否满足预设第一有效性规则;若是,则根据加热任务对目标对象进行加热并获取当前加热参数;获取当前加热环境信息并确定加热限制条件;判断当前加热参数是否满足预设第二有效性规则;若是,根据当前加热参数结合加热限制条件判断是否需要进行加热干预;在根据当前加热参数结合加热限制条件判定需要进行加热干预时,根据加热限制条件确定干预策略并根据干预策略对目标对象进行干预。通过预设第一有效性规则和预设第二有效性规则的判断实现了合理有效对晶圆加热进行控制的技术效果。
附件下载:  (原始资料备查)

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