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有限责任公司(外商投资企业与内资合资) 成立历史第12 

一种超薄芯片背胶涂覆方法、涂覆装置及存储介质【异议或纠错】

档案编号: CQ-112-5034-9033
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B05D1/02;B05B12/00;B05B13/02;B05B13/04;H01L21/67类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请涉及一种超薄芯片背胶涂覆方法、涂覆装置及存储介质,超薄芯片背胶涂覆方法包括:将经过切割研磨后的晶圆放置于磨片膜上,所述晶圆由若干芯片矩阵排列组成;将载有芯片的磨片膜放置于涂胶平台上;根据芯片的排列方式控制涂胶喷头对其中若干行依序进行匀速的移动喷涂,其中所述涂胶喷头沿其所在中心向下辐射喷出雾状胶液。本申请具有可以对经过DBG工艺切割后的晶圆进行背胶的涂覆的效果。
附件下载:  (原始资料备查)

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