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一种倒装焊芯片封装缺陷的检测方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-260-7546-8610
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01R31/28;G01R19/165类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及芯片工艺技术领域,本发明提供了一种倒装焊芯片封装缺陷的检测方法。本发明提供的检测方法通过先制备待检测的芯片,具体为在裸晶圆的表面溅射种子层,在种子层上制备焊点阵列,得到初始晶圆;初始晶圆的焊点阵列中的多个焊点通过种子层导通;对初始晶圆进行切割、焊接和引脚成型处理,得到待检测芯片集;待检测芯片集包括多个待检测芯片;再对待检测芯片集的多个待检测芯片中的每个待检测芯片进行电路检测得到每个待检测芯片对应的电路检测结果;基于每个待检测芯片对应的电路检测结果确定该待检测芯片是否为合格芯片。该种基于芯片电性能的检测方法检测效率高,且需要对该晶圆的所有芯片进行检测,避免了漏检,提高了检测精准度。
附件下载:  (原始资料备查)

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