专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种用于晶圆3D封装的双工位多轴气浮运动系统 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-26 |
| 一种基于柔性铰链的并联两自由度纳米位移定位平... | 专利权 | 良好信息 | 2022-04-01 |
| 一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-03-01 |
| 一种气浮止推轴承静刚度测试系统 | 专利权 | 良好信息 | 2021-12-24 |
| 基于三维卷积神经网络的多孔介质渗透率的预测方... | 专利权 | 良好信息 | 2021-06-18 |
| 多孔介质渗透率预测方法、电子设备和存储介质 | 专利权 | 良好信息 | 2021-06-15 |
| 一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位... | 专利权 | 良好信息 | 2021-05-11 |
| 一种基于柔性铰链放大的压电微搓动夹持钳 | 专利权 | 良好信息 | 2021-02-02 |
| 一种具有搓动功能的压电微夹钳 | 专利权 | 良好信息 | 2021-02-02 |
| 一种具有搓动功能的微夹持器 | 专利权 | 良好信息 | 2021-02-02 |
| 一种微纳加工系统 | 专利权 | 良好信息 | 2021-01-26 |
| 一种大推力带自锁功能的压电直线促动器 | 专利权 | 良好信息 | 2021-01-19 |
| 一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台 | 专利权 | 良好信息 | 2021-01-08 |
| 一种采用电容传感器反馈的快反镜系统精度补偿方... | 专利权 | 良好信息 | 2020-12-25 |
| 一种基于柔性铰链机构的纳米级电容位移传感器测... | 专利权 | 良好信息 | 2020-12-01 |
| 一种菱形微位移放大机构的纳米扫描平台 | 专利权 | 良好信息 | 2020-11-10 |
| 一种串联压电驱动纳米定位平台 | 专利权 | 良好信息 | 2020-11-10 |
| 一种桥式压电驱动直线促动器 | 专利权 | 良好信息 | 2020-10-30 |
| 一种有效提高调节精度的平行度调节器 | 专利权 | 良好信息 | 2020-10-09 |
| 一种三自由度一体式柔性精密定位平台 | 专利权 | 良好信息 | 2020-10-09 |
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