专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种真空腔室密封门 | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-30 |
| 碳化硅外延结构、脉冲式生长方法及其应用 | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-05 |
| 一种溶液法生长碳化硅单晶的设备及生长方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-28 |
| 一种机械手腔室密封门 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-14 |
| 长晶炉 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-07 |
| 外延炉 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-07 |
| 退火炉(垂直) | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-04 |
| 退火炉(水平) | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-04 |
| 一种真空腔室升降机构 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-07 |
| 一种溶液法生长碳化硅单晶的热场及生长方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-19 |
| 一种高质量SiC栅氧层的制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-08 |
| 一种碳化硅肖特基二极管结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-15 |
| 一种垂直式结构碳化硅高温退火炉装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-07-18 |
| 一种SiCSBD结构及其制作方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-06 |
| 一种碳化硅晶片批量化高温退火装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-03-07 |
| 集成超结结构的碳化硅基沟槽型MOSFET及其... | 专利权 | 良好信息 | 2023-01-17 |
| 一种具有低导通压降的SiC基肖特基器件及其制... | 专利权 | 良好信息 | 2022-09-27 |
| 一种低导通电阻的SiC基MOSFET器件及其... | 专利权 | 良好信息 | 2022-09-27 |
| 碳化硅外延结构、脉冲式生长方法及其应用 | 专利权 | 良好信息 | 2022-09-20 |
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