专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 卡盘组件及探针台 | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-16 |
| 料盒内晶圆放置异常的处理方法、装置及晶圆控制... | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-09 |
| 一种提高探针与晶圆测试点接触精度的方法及设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-19 |
| 机械手组件及探针台 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-12 |
| 卡盘组件及探针台 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-08 |
| 料盒内晶圆放置异常的处理方法、装置及晶圆控制... | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-02 |
| 真空探针台 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-30 |
| 晶圆裂痕识别方法及相关装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-30 |
| 真空探针台 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-08 |
| 一种晶圆探针台启停控制系统、方法及相关装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-19 |
| 一种晶圆探针卡自动更换机构及晶圆检测设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-08 |
| 一种全自动晶圆测试设备及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-07-25 |
| 一种低温探针测试设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-07-04 |
| 一种全自动晶圆测试设备及方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-23 |
| 一种低温探针测试设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-26 |
| 一种晶圆转运机械手 | 专利权 | 良好信息 | 2022-12-27 |
| 一种晶圆盒自动开盖机构 | 专利权 | 良好信息 | 2022-12-20 |
| 晶圆测试设备及测试方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-09-06 |
| 一种显微镜 | 专利权 | 良好信息 | 2022-08-23 |
| 一种用于真空高低温探针台的探针机构 | 专利权 | 良好信息 | 2022-08-09 |
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