专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种聚合物及含其的193nm光刻用顶涂层膜的... | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-26 |
| 一种聚合物及含其的193nm光刻用顶涂层膜的... | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-29 |
| 一种树脂及含其的193nm浸没式光刻胶 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-28 |
| 一种树脂及含其的193nm浸没式光刻胶的制备... | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-28 |
| 一种深紫外光刻用底部抗反射涂层及其制备方法和... | 专利权 | 良好信息 | 2023-10-20 |
| 一种底部抗反射涂层及其制备方法和应用 | 专利权 | 良好信息 | 2023-10-20 |
| 一种深紫外光刻用底部抗反射涂层及其制备方法和... | 专利权 | 良好信息 | 2023-10-03 |
| 一种DUV光刻用底部抗反射涂层及其制备方法和... | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-26 |
| 一种DUV光刻用底部抗反射涂层及其制备方法和... | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-12 |
| 一种浸没式ArF光刻用光产酸剂及光刻胶组合物 | 专利权 | 良好信息 | 2023-08-25 |
| 一种浸没式ArF光刻用光产酸剂的制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-08-11 |
| 一种193nm浸没式光刻用光产酸剂的制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-07-04 |
| 一种193nm浸没式光刻用光产酸剂及其中间体 | 专利权 | 良好信息 | 2023-07-04 |
| 一种浸没式ArF光刻用的光产酸剂及其中间体 | 专利权 | 良好信息 | 2023-07-04 |
| 一种193nm浸没式光刻用光产酸剂及光刻胶组... | 专利权 | 良好信息 | 2023-07-04 |
| KrF光源厚膜光刻胶组合物及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-02 |
| 磺酸亚胺类化合物作为KrF厚膜光刻胶光产酸剂... | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-02 |
| 一种制备厚膜光刻胶树脂的方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-02 |
| 一种深紫外光刻用底部抗反射涂层及其制备方法和... | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-12 |
| 一种底部抗反射涂层及其制备方法和应用 | 专利权 | 良好信息 | 2023-05-12 |
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