专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-16 |
| 一种浸液供给装置 | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-05 |
| 一种浸液供给系统 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-09 |
| 一种磁力联轴器温度控制系统及采用其的磁力泵 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-02 |
| 具有新型抽排组件的浸液供给回收装置以及浸液抽... | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-02 |
| 用于浸没式光刻具有调节出水总有机碳的超纯水制... | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-12 |
| 一种浸没式光刻机密封气体的加湿装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-12 |
| 光刻机的浸液热效应评价装置、标定装置及其评价... | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-28 |
| 一种光刻方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-12 |
| 具有温度均衡功能的浸没控制单元 | 专利权 | 良好信息 | 2023-08-25 |
| 一种具有气液隔离抽排功能的浸液供给回收装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-08-11 |
| 一种超声波流量测量方法及利用该方法的流量计 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-23 |
| 一种浸没流场初始建立方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-13 |
| 一种换能器特性检测装置及检测方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-04-25 |
| 一种具有过压保护功能的快速排气阀 | 专利权 | 良好信息 | 2023-04-18 |
| 基于声速追踪的超声波流量测量方法及用该方法的... | 专利权 | 良好信息 | 2023-01-24 |
| 一种超声波流量测量方法及利用该方法的流量计 | 专利权 | 良好信息 | 2023-01-20 |
| 一种基于分子模拟预测的半导体洁净零部件加工方... | 专利权 | 良好信息 | 2022-12-30 |
| 一种运用分子模拟确定半导体零部件最佳清洗参数... | 专利权 | 良好信息 | 2022-12-30 |
| 一种利于散热的封闭机柜及其散热方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-08-30 |
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