专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种碳化硅复合基板及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-08-06 |
| 一种碳化硅复合基板及其制造方法与应用 | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-19 |
| 一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液及其制备方法与抛... | 专利权 | 良好信息 | 2024-07-19 |
| 一种碳化硅复合基板的制造方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-06-28 |
| 一种碳化硅晶圆抛光用的抛光液及其制备方法与抛... | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-28 |
| 一种复合压电衬底及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-05-10 |
| 一种压电衬底结构及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-04-09 |
| 单晶碳化硅长晶原料、单晶碳化硅长晶方法及单晶... | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-29 |
| 石墨坩埚、其制备方法及碳化硅单晶长晶方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-29 |
| 一种复合压电衬底及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-22 |
| 晶圆键合力测试装置及测试方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-19 |
| 一种高热导率3C-SiC多晶基板及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-15 |
| 多晶碳化硅衬底抛光剂、抛光方法及多晶碳化硅衬... | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-12 |
| 液相法碳化硅长晶过程消除气泡包裹的方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-12 |
| 一种3C-SiC单晶体的制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-08 |
| 晶圆清洗方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-05 |
| 一种复合压电衬底的制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-20 |
| 一种压电衬底结构及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-09 |
| 晶圆键合力测试装置及测试方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-23 |
| 一种高热导率3C-SiC多晶基板及其制备方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-23 |
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