商标/专利/著作权/植物新品种信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 晶圆缓存系统的使用方法和晶圆缓存系统 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-01 |
| 一种涂胶显影设备及控制方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-13 |
| 一种涂胶显影设备以及控制方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-09 |
| 一种改善均匀性的光刻胶涂胶方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-30 |
| 一种涂胶显影设备及控制方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-30 |
| 闭环温度控制系统和温度控制方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-09 |
| 开环温度控制系统和温度控制方法 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-05 |
| 温度补偿装置和半导体用基板加热辅助系统 | 专利权 | 良好信息 | 2024-01-05 |
| 一种晶圆检测装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-22 |
| 晶圆用热处理设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-19 |
| 一种真空抽液与气液分离装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-12-01 |
| 一种用于晶圆烘焙工艺的排风罩结构 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-24 |
| 光刻胶烘烤工艺的加热单元装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-21 |
| 撕金去胶工艺后的金属回收装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-21 |
| 一种晶圆边缘双喷头快速去除光阻方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-03 |
| 深孔结构晶圆去胶方法及深孔结构晶圆去胶设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-11-03 |
| 涂胶显影设备及其维护方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-10-31 |
| 抽拉装置及其使用方法、涂胶显影设备 | 专利权 | 良好信息 | 2023-10-27 |
| 显影液喷涂设备和显影液喷涂方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-10-27 |
| 显影方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-10-27 |
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