专利信息
| 档案标题 | 档案分类 | 档案性质 | 发证日期 |
|---|---|---|---|
| 一种晶圆冷却装置及电镀设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-03-15 |
| 一种电镀搅拌装置及电镀设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-13 |
| 一种电镀搅拌装置及电镀设备 | 专利权 | 良好信息 | 2024-02-13 |
| 一种晶圆夹具及电镀装置 | 专利权 | 良好信息 | 2023-09-08 |
| 电镀头单元、电镀设备及电镀方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-08-29 |
| 一种共享晶圆夹具的金属镀覆设备和方法 | 专利权 | 良好信息 | 2023-06-23 |
| 一种电镀设备 | 专利权 | 良好信息 | 2022-11-18 |
| 晶圆清洗系统及晶圆清洗方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-11-04 |
| 片盒组件及包含其的晶圆清洗单元 | 专利权 | 良好信息 | 2022-08-05 |
| 片盒组件及包含其的晶圆清洗单元 | 专利权 | 良好信息 | 2022-07-29 |
| 减小载具对晶圆表面清洗影响的方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-07-26 |
| 一种晶圆夹具及电镀装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-07-22 |
| 清洗装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-06-24 |
| 晶圆干燥装置及晶圆干燥设备 | 专利权 | 良好信息 | 2022-06-03 |
| 晶圆干燥装置 | 专利权 | 良好信息 | 2022-06-03 |
| 一种晶圆电镀预处理设备及系统 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-24 |
| 一种晶圆冷却装置及电镀设备 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-20 |
| 一种电镀设备 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-13 |
| 一种晶圆处理设备及系统 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-13 |
| 气泡去除方法 | 专利权 | 良好信息 | 2022-05-03 |
更多>>视频联播
京公网安备：11010202001315
商务合作